英特尔爱尔兰Fab 34首台EUV光刻机交付 花了18个月设计和施工活动

　　英特尔在爱尔兰莱克斯利普的工厂 Fab 34 已经交付了其首台 EUV 光刻机，该设备由 ASML 制造，是 Intel 4 制程技术的关键一环，这也使得 Fab 34 成为欧洲最先进的芯片制造工厂。

　　据 eeNews 报道，第一台设备从英特尔位于俄勒冈州的技术开发工厂抵达爱尔兰，这意味着 Fab 34 将成为工厂外第一个运行新 EUV 技术的工厂。

　　该设备由 10 万个部件、3000 根电缆、4 万个螺栓和超过 1 英里长的软管组成。英特尔花了 18 个月的设计和施工活动，为 Fab 34 大楼接收这台机器做准备。

　　该建筑围绕光刻机进行设计，后者跨越了工厂的四层，包含一个内置的起重机，延伸到 3 米高的天花板，还需要大约 700 个电力、机械、化学和气体供应的连接点。